半導体装置のアフターサポート

チラーユニットの製造・販売、メンテンナス、部品調達関連分野での人員確保などエンジニアリング集団として各種サポートを行っています。
ご希望の製品の概要・仕様等をご準備の上、当社までお気軽にお問い合わせ下さい。

事業内容

消耗部品販売

装置に必要な消耗部品、交換部品の販売を行います。
消耗部品の販売(純正品・2ND品を取り揃えています。)
 例:TEL系・・・ETCH/CVD純正パーツ
 例:AMJ系・・・純正・2NDパーツ
 例:各種Oリングの販売
各種コーティング(アルマイト・イットリア)の再生・新規も可能です。

半導体・パネル製造に関わる、装置及び部品の古物販売、修理、メンテナンス

各種RF関連、ジェネレータ、マッチャー等 修理、O/H
(CENTURA、P5000、ASM E-10他 修理対応リスト添付)
制御ボードの修理・再生、各種モニターの修理(TEL、NIKON社製他)
各種搬送ロボットの修理、メンテナンス(ASYST、RORZE、AMAT、BROOKS、P5000等)
各種ポンプO/H(荏原、エドワーズ、アルバック等)
各種装置(Nikon・Canon・Stepper、TEL・DNS Coater/Deve、
各社Etcher、CVD等

半導体・パネル製造に関わる、装置立下げ、移設、立上げ業務

廃棄装置の立下げ・移設請負
各種半導体・パネル製造装置の経験者を確保し、お客様の要望にお答えします。
廃棄装置の運送・廃棄処理等もご相談を承ります。
移設装置の立下げ・移設・立上げ請負
各装置の協力会社と共に現状の品質を維持しつつ移設を行います。

チラーユニットの製造及び販売、付随する部品等の修理、販売

弊社ブランドのチラーユニットを製造販売 (製造委託)
仕様の打合せ~設計~製作~納品、メンテナンスサポート
他メーカーの修理、O/H、部品販売

各種装置のメンテナンス・工程請負及び派遣

日常メンテナンスや軽故障対応等、お客様に合わせた人員を確保し、請負作業を行います。
半導体の作業・メンテナンスの経験者を確保し、お客様の教育時間の削減を行います。
また、グループ会社でのメンテナンス教育や技術指導等を行います。