販売・修理・メンテナンス実績
消耗部品の販売 |
TEL製装置用消耗パーツ AMAT製装置用消耗パーツ LAM製装置用消耗パーツ |
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部品の新規作成 | CVD装置パーツの新規作成 |
装置、部品の古物販売 |
装置エッチング装置、CVD装置、インプラ装置、露光装置、検査装置部品真空ポンプ、チラーユニット、制御基盤、露光装置部品 |
装置、部品の修理・メンテナンス |
装置メンテナンス露光装置、検査装置、エッチング装置、CVD装置部品メンテナンスRFジェネレータ、マッチングボックス修理/各種基板修理/各種タッチパネル修理/各種モニタ修理/各種磁気シー各種O/H |
移設・立下げ・立上げ | 半導体研究所、立下げ・廃棄作業 半導体メーカ、露光装置 立下げ・移設・立上げ作業 半導体メーカ、CVD装置 立下げ・移設・立上げ作業 パネルメーカ、CVD装置 立下げ・移設作業 |
その他 |
導体メーカ、レジスト管理システム構築 半導体メーカ、構内監視カメラネットワークト構築 |
チラーユニット生産及び納入実績
生産実績 |
通常生産・・・約20台/月 最多生産・・・約35台/月 納期は、製作開始から約2ヶ月程度です。 |
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年間納入実績 | ドライエッチャー装置(半導体装置メーカーU社OEM製品)20台 |
プローバー装置(半導体装置メーカーT社OEM製品)20台 | |
裏面研磨装置(半導体装置メーカーT社OEM製品)40台 | |
スパッタ、インプラ装置(半導体装置メーカーA社OEM製品)20台 | |
液晶製造装置(液晶装置メーカーS社OEM製品)40台 | |
Aデバイスメーカー(他社製品より変更)5台 |
メンテナンス・工程請負及び派遣実績
A社:エッチング装置メンテナンス |
各日常メンテナンス業務 通常メンテナンス業務 *各パーツのオーバーホール *各種バルブ交換、ポンプ交換、RF機器の交換 *搬送系調整、波形調整 |
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B社:洗浄装置メンテナンス |
日常メンテナンス業務 通常メンテナンス業務 *搬送系調整 *定期交換パーツの交換 *トラブル対応 |
C社:露光装置メンテナンス |
各日常メンテナンス業務 通常メンテナンス業務 トラブル対応・装置メーカー対 |
D社:露光装置メンテナンス |
各日常メンテナンス業務 通常メンテナンス業務 トラブル対応・装置メーカー対応 装置トラブル解析 |