実績

販売・修理・メンテナンス実績

消耗部品の販売 TEL製装置用消耗パーツ
AMAT製装置用消耗パーツ
LAM製装置用消耗パーツ
部品の新規作成 CVD装置パーツの新規作成
装置、部品の古物販売

装置

エッチング装置、CVD装置、インプラ装置、露光装置、検査装置

部品

真空ポンプ、チラーユニット、制御基盤、露光装置部品
装置、部品の修理・メンテナンス

装置メンテナンス

露光装置、検査装置、エッチング装置、CVD装置

部品メンテナンス

RFジェネレータ、マッチングボックス修理/各種基板修理/
各種タッチパネル修理/各種モニタ修理/各種磁気シー各種O/H
移設・立下げ・立上げ 半導体研究所、立下げ・廃棄作業
半導体メーカ、露光装置 立下げ・移設・立上げ作業
半導体メーカ、CVD装置 立下げ・移設・立上げ作業
パネルメーカ、CVD装置 立下げ・移設作業
その他 導体メーカ、レジスト管理システム構築
半導体メーカ、構内監視カメラネットワークト構築

チラーユニット生産及び納入実績

生産実績 通常生産・・・約20台/月 最多生産・・・約35台/月
納期は、製作開始から約2ヶ月程度です。
年間納入実績 ドライエッチャー装置(半導体装置メーカーU社OEM製品)20台
プローバー装置(半導体装置メーカーT社OEM製品)20台
裏面研磨装置(半導体装置メーカーT社OEM製品)40台
スパッタ、インプラ装置(半導体装置メーカーA社OEM製品)20台
液晶製造装置(液晶装置メーカーS社OEM製品)40台
Aデバイスメーカー(他社製品より変更)5台

メンテナンス・工程請負及び派遣実績

A社:エッチング装置メンテナンス 各日常メンテナンス業務
通常メンテナンス業務
*各パーツのオーバーホール
*各種バルブ交換、ポンプ交換、RF機器の交換
*搬送系調整、波形調整
B社:洗浄装置メンテナンス 日常メンテナンス業務
通常メンテナンス業務
*搬送系調整
*定期交換パーツの交換
*トラブル対応
C社:露光装置メンテナンス 各日常メンテナンス業務
通常メンテナンス業務
トラブル対応・装置メーカー対
D社:露光装置メンテナンス 各日常メンテナンス業務
通常メンテナンス業務
トラブル対応・装置メーカー対応
装置トラブル解析